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石墨盤(pán)的測(cè)驗(yàn)辦法需環(huán)繞其核心功能指標(biāo)(如純度、機(jī)械強(qiáng)度、熱功能、抗氧化性等)打開(kāi),以下從資料剖析、力學(xué)功能、熱學(xué)功能、表面質(zhì)量、抗氧化性五個(gè)維度體系闡明,并給出詳細(xì)測(cè)驗(yàn)辦法與規(guī)范:
一、資料純度與成分剖析
1.灰分測(cè)驗(yàn)(純度評(píng)價(jià))
辦法:將石墨盤(pán)在高溫爐中灼燒至恒重,核算殘留灰分占比。
步驟:
稱(chēng)取樣品質(zhì)量(m2);
在850-950℃馬弗爐中灼燒至恒重(m2);
灰分含量=(m2/m2)×100%。
規(guī)范:高純石墨灰分一般≤0.05%(500ppm)。
2.雜質(zhì)元素剖析
辦法:
ICP-OES(電感耦合等離子體發(fā)射光譜):檢測(cè)金屬雜質(zhì)(如Fe、Cu、Ca等),精度可達(dá)ppb級(jí)。
CS剖析儀(碳硫剖析):測(cè)定游離碳、硫含量。
二、力學(xué)功能測(cè)驗(yàn)
1.抗壓強(qiáng)度測(cè)驗(yàn)
設(shè)備:全能資料試驗(yàn)機(jī)。
辦法:
將石墨盤(pán)切割為規(guī)范試樣(如圓柱體,直徑×高度=20mm×20mm);
以1mm/min速率加載至破壞,記載最大載荷(F);
抗壓強(qiáng)度=F/(πr2)(r為試樣半徑)。
規(guī)范:高純石墨抗壓強(qiáng)度一般≥100MPa。
2.抗彎強(qiáng)度測(cè)驗(yàn)(三點(diǎn)彎曲法)
辦法:
試樣尺度:長(zhǎng)×寬×高=50mm×10mm×5mm;
跨距30mm,加載速率0.5mm/min;
抗彎強(qiáng)度=3FL/(2bh2)(F為破壞載荷,L為跨距,b、h為試樣寬高)。
3.彈性模量與泊松比
辦法:動(dòng)態(tài)共振法或超聲法,經(jīng)過(guò)丈量聲速核算彈性參數(shù)。
三、熱學(xué)功能測(cè)驗(yàn)
1.熱導(dǎo)率測(cè)驗(yàn)
激光閃射法(LFA):
丈量樣品厚度方向的熱擴(kuò)散系數(shù)(α);
結(jié)合比熱容(Cp)和密度(ρ),核算熱導(dǎo)率λ=α×Cp×ρ。
規(guī)范:高純石墨熱導(dǎo)率可達(dá)100-200W/(m·K)。
2.熱膨脹系數(shù)(CTE)
辦法:熱機(jī)械剖析儀(TMA),丈量樣品在溫度改變時(shí)的尺度改變率。
測(cè)驗(yàn)范圍:室溫至1000℃,升溫速率5℃/min。
3.耐熱沖擊功能
辦法:
將石墨盤(pán)加熱至方針溫度(如800℃);
快速浸入冷水中,觀察是否開(kāi)裂;
重復(fù)屢次,記載失效次數(shù)。
四、表面質(zhì)量與微觀結(jié)構(gòu)
1.表面粗糙度
設(shè)備:輪廓儀或白光干涉儀。
規(guī)范:加工面粗糙度Ra≤1.6μm,燒結(jié)面Ra≤3.2μm。
2.孔隙率測(cè)定
辦法:
壓汞法:丈量孔隙體積占比;
圖像剖析法:經(jīng)過(guò)SEM掃描電鏡核算孔隙面積占比。
3.微觀結(jié)構(gòu)觀察
設(shè)備:SEM(掃描電鏡)、XRD(X射線衍射)。
目的:剖析晶粒尺度、取向及雜質(zhì)散布。
五、抗氧化功能測(cè)驗(yàn)
1.靜態(tài)氧化實(shí)驗(yàn)
辦法:
將石墨盤(pán)置于箱式爐中,通入空氣或氧氣;
以5℃/min升溫至方針溫度(如600℃),保溫一定時(shí)間;
稱(chēng)重核算氧化失重率。
2.動(dòng)態(tài)氧化實(shí)驗(yàn)
辦法:熱重剖析儀(TGA),實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品在升溫過(guò)程中的質(zhì)量改變。
六、其他要害測(cè)驗(yàn)
1.電阻率測(cè)驗(yàn)
辦法:四探針?lè)?,丈量體積電阻率(一般≤10μΩ·m)。
2.耐腐蝕性測(cè)驗(yàn)
辦法:將石墨盤(pán)浸泡在酸/堿溶液中(如10% HCl或NaOH),72小時(shí)后稱(chēng)重核算腐蝕率。
測(cè)驗(yàn)規(guī)范參考
國(guó)際規(guī)范:ASTM C747(石墨純度)、ISO 18754(熱導(dǎo)率)。
國(guó)家規(guī)范:GB/T 24528(炭素資料體積密度)、GB/T 3074.4(石墨抗折強(qiáng)度)。
行業(yè)規(guī)范:SEMI規(guī)范(半導(dǎo)體用石墨)、YB/T 5213(耐火資料)。
總結(jié)與主張
測(cè)驗(yàn)優(yōu)先級(jí):根據(jù)應(yīng)用場(chǎng)景選擇要害指標(biāo)(如半導(dǎo)體領(lǐng)域偏重純度與熱導(dǎo)率,冶金領(lǐng)域偏重強(qiáng)度與抗氧化性)。
第三方檢測(cè):關(guān)于高精度要求,主張托付CNAS認(rèn)證實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行測(cè)驗(yàn)。
數(shù)據(jù)比照:測(cè)驗(yàn)成果需與供應(yīng)商供給的資料證書(shū)(COA)比對(duì),確保一致性。
經(jīng)過(guò)上述測(cè)驗(yàn)辦法,可全面評(píng)價(jià)石墨盤(pán)的功能,為選型、質(zhì)量控制及工藝優(yōu)化供給依據(jù)。
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